清晨好,您是今天最早来到科研通的研友!由于当前在线用户较少,发布求助请尽量完整地填写文献信息,科研通机器人24小时在线,伴您科研之路漫漫前行!

Design. Fabrication, and Test of an Embedded Si-Glass Microchannel Heat Sink for High-power RF Application

散热片 材料科学 微通道 热导率 散热膏 计算机冷却 热阻 薄脆饼 制作 机械工程 热撒布器 传热 复合材料 光电子学 机械 工程类 电子设备和系统的热管理 纳米技术 病理 物理 医学 替代医学
作者
Jianyu Du,Weihao Li,Xu Gao,Deyin Zheng,Yu‐Chi Yang,Zetian Wang,Haoran Zhao,Jiajie Kang,Wei Wang
标识
DOI:10.1109/icept52650.2021.9568212
摘要

The heat dissipation of power amplifier (PA) chips is one of the biggest challenges in the development of miniaturized state of art glass-based high-power RF modules. Glass has excellent electrical properties, but the extremely poor thermal conductivity of it also brings many barriers in the application. Its (quartz glass) thermal conductivity is only 1/93 of that of silicon, so there will be a problem of poor heat dissipation. In recent years, there has been an increasing amount of literature on microfluidic cooling technology and this method was demonstrate as an efficient way in cooling application. In this article, we designed, fabricated, and tested a Si-Glass microchannel heat sink, which took advantage of the high thermal conductivity of silicon to deal with the insufficient thermal conductivity of the glass interposer. Finite element simulation was used to study the thermal property of the Si-Glass heat sink and a multi-parameter optimal method was used to design the geometrical parameters, including the number of flow channels and other geometrical parameters of the heat sink. Then the aforementioned microchannel heat sinks were fabricated using cleanroom fabrication on 4-inch silicon and glass wafers. To complete the thermal test, the Thermal Demonstration Vehicles (TDVs) were fabricated by bonding the sample onto a customized PDMS holder for fluid connections with the flow loop. A programmable power source was used to heat the TDV in a stepwise manner, and a syringe pump was used to supply the liquid to cool the heat sink. Results show that the heat sink can dissipate heat flux greater than 150W/cm 2 with substrate temperature lower than 100°C.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
李小猫发布了新的文献求助10
1秒前
Hello应助科研通管家采纳,获得10
27秒前
drhwang完成签到,获得积分10
35秒前
研究生完成签到 ,获得积分10
39秒前
42秒前
55秒前
1分钟前
1分钟前
1分钟前
谦让寻凝完成签到 ,获得积分10
2分钟前
土豆··发布了新的文献求助20
2分钟前
2分钟前
淡淡醉波wuliao完成签到 ,获得积分0
2分钟前
小蘑菇应助弯弯的小河采纳,获得10
2分钟前
Owen应助科研通管家采纳,获得10
2分钟前
2分钟前
Aaron发布了新的文献求助10
2分钟前
CodeCraft应助Betty采纳,获得10
2分钟前
土豆··完成签到,获得积分10
2分钟前
3分钟前
桥西小河完成签到 ,获得积分10
3分钟前
3分钟前
大医仁心完成签到 ,获得积分10
3分钟前
Betty发布了新的文献求助10
3分钟前
汉堡包应助Sinner采纳,获得10
4分钟前
lilaccalla完成签到 ,获得积分10
4分钟前
4分钟前
lanxinge完成签到 ,获得积分10
4分钟前
4分钟前
4分钟前
5分钟前
Sinner发布了新的文献求助10
5分钟前
5分钟前
5分钟前
5分钟前
xhcccc发布了新的文献求助20
5分钟前
SciGPT应助跳跃的代曼采纳,获得10
5分钟前
Yolo完成签到 ,获得积分10
5分钟前
5分钟前
跳跃的代曼完成签到,获得积分10
6分钟前
高分求助中
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
Cognitive Neuroscience: The Biology of the Mind 1000
Technical Brochure TB 814: LPIT applications in HV gas insulated switchgear 1000
Immigrant Incorporation in East Asian Democracies 600
Nucleophilic substitution in azasydnone-modified dinitroanisoles 500
不知道标题是什么 500
A Preliminary Study on Correlation Between Independent Components of Facial Thermal Images and Subjective Assessment of Chronic Stress 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3968504
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3513318
关于积分的说明 11167297
捐赠科研通 3248697
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1794414
邀请新用户注册赠送积分活动 875030
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 804652