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Subwavelength Grating Structure with High Aspect Ratio and Tapered Sidewall Profiles

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作者
Wenxi Yu,Dong Wu,Xiaofeng Duan,Ya Yi
出处
期刊：MRS Advances [Springer Science+Business Media]
日期：2015-12-28 卷期号：1 (23): 1693-1701
标识
DOI：10.1557/adv.2015.32
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