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Growth and crystal phase transformation of ε-Ga2O3 grown on 4H–SiC by MOCVD

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作者
So Yoon Kim,Jungbok Lee,Hyung-Soo Ahn,Kyounghwa Kim,Min Yang
出处
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier]
日期：2022-02-23 卷期号：144: 106586-106586 被引量：11
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2022.106586
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