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MEMS法布里-珀罗滤波芯片及其光谱探测应用研究进展

微电子机械系统 材料科学 光电子学
作者
周奎 Zhou Kui,单政 Shan Zheng,张倩 Zhang Qian,王谢君 Wang Xiejun,周健 Zhou Jian,邓宸伟 Deng Chenwei,虞益挺 Yu Yiting
出处
期刊：Guangxue xuebao [Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics]
日期：2022-01-01 卷期号：42 (8): 0800001-0800001 被引量：2
标识
DOI：10.3788/aos202242.0800001
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