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Study on the design and fabrication of Silicon-Based integrated current sensor based on 3D Through-Silicon-Via (TSV) Rogowski coil

罗戈夫斯基线圈 微系统 电流传感器 通过硅通孔 电磁线圈 集成电路 电气工程 电子工程 工程类 微电子 电流（流体） 薄脆饼 材料科学 纳米技术
作者
Pan Xu,Ning An,Zhenzhong Yang,Yuexing Wang,Quanfeng Zhou,Shuairong Deng,Xiangyu Sun
出处
期刊：Measurement [Elsevier]
日期：2024-04-18 卷期号：233: 114741-114741
标识
DOI：10.1016/j.measurement.2024.114741
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