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作者
Yakov Enns,
S. N. Timoshnev,
A Kazakin,
K. Yu. Shubina,
A V Uvarov,
Alexandr Vorobyev,
E. V. Nikitina,
A. M. Mizerov,
В. Д. Андреева,
Elizaveta Fedorenko,
Aleksandra V. Koroleva,
Evgeniy V. Zhizhin
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier]
日期：2024-06-24
卷期号：181: 108624-108624
被引量：6
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2024.108624
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