Silicon Carbide Sand Usage in Backside Processing of Silicon Transistor Structures

碳化硅材料科学硅晶体管表面粗糙度沉积（地质）光电子学薄膜晶体管冶金复合材料电气工程图层（电子）工程类地质学电压古生物学沉积物

作者

A. R. Shakhmayeva,Э. Казалиева

出处

期刊：Glass and Ceramics [Springer Nature]
日期：2023-09-01 卷期号：80 (5-6): 261-263

标识

DOI：10.1007/s10717-023-00594-6

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