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Thermodynamic modeling framework with experimental investigation of the large-scale bonded area and local void in Cu-Cu bonding interface for advanced semiconductor packaging

材料科学 空隙（复合材料） 半导体 接口（物质） 复合材料 比例（比率） 工程物理 光电子学 工程类 物理 毛细管数 量子力学 毛细管作用
作者
S.H. Oh,Lee Hyun-Dong,Jae-Uk Lee,Sung-Ho Park,Won-Seob Cho,Yong Jin Park,Anja Haag,Soichi Watanabe,Marco Arnold,Hoo-Jeong Lee,Eun‐Ho Lee
出处
期刊：International Journal of Plasticity [Elsevier]
日期：2024-09-01 卷期号：180: 104073-104073
标识
DOI：10.1016/j.ijplas.2024.104073
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