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Back-end-of-line Compatible Transistor With Ultrathin InZnO Channel Enabling Operations in Cryogenic Environments

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作者
Nayeon Kim,Hyoungjin Park,Jiae Jeong,Hyun Wook Kim,Eunryeong Hong,Seonuk Jeon,Hyeonsik Choi,Yunsur Kim,Jiyong Woo
出处
期刊:IEEE Electron Device Letters [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:45 (10): 1772-1775 被引量:1
标识
DOI:10.1109/led.2024.3435403
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