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New Concept for the Development of High-Performance X-ray Lithography

平版印刷术材料科学 X射线光刻开发（拓扑）极紫外光刻纳米技术计算机科学工程物理光电子学抵抗物理数学数学分析图层（电子）

作者

Н. И. Чхало

出处

期刊：Russian Microelectronics [Springer Nature]
日期：2024-10-01 卷期号：53 (5): 397-407 被引量：3

标识

DOI：10.1134/s1063739724600511

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