Stress control in thick hydrogenated amorphous carbon films to mitigate stress-induced defects in semiconductor processes

材料科学 半导体 压力(语言学) 非晶半导体 碳纤维 无定形碳 无定形固体 碳膜 工程物理 复合材料 薄膜 光电子学 纳米技术 化学 结晶学 工程类 语言学 哲学 复合数
作者
Myung Mo Ahn,Se Jun Park,Boyoung Shim,Seungmin Moon,Song Yi Baek,Changsoo Lee,Jaehyun Kim,Chulhwan Choi
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier]
卷期号:: 140635-140635
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2025.140635
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