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Using flexural MEMS to study and exploit nonlinearities: a review

利用微电子机械系统抗弯强度计算机科学电子工程材料科学工程类结构工程纳米技术计算机安全

作者

Sidhant Tiwari,Rob N. Candler

出处

期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering [IOP Publishing]
日期：2019-06-10 卷期号：29 (8): 083002-083002 被引量：26

标识

DOI：10.1088/1361-6439/ab23e2

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