Investigation on the effect of geometrical dimensions on the conductive behaviour of a MEMS convective accelerometer

加速度计 微电子机械系统 导电体 对流 有限元法 声学 材料科学 电子工程 机械 电气工程 计算机科学 工程类 结构工程 光电子学 物理 操作系统
作者
A. Rekik,Brahim Mezghani,Florence Azaïs,Norbert Dumas,Mohamed Masmoudi,F. Mailly,Pascal Nouet
摘要

This paper presents an investigation on the effect of geometrical dimensions on the conductive behaviour of a CMOS MEMS convective accelerometer. Numerous FEM simulations are conducted to prove the validity of a previously developed model. This model was firstly developed to represent the effect of only one geometrical parameter; the etched cavity depth. We prove here that this model may represent also the effect of other geometrical parameters, the cavity half-width and the package height, on the conductive behaviour of the sensor.

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