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All Wet Stripping of Implanted Photoresist

材料科学 光刻胶 剥离（纤维） 冶金 复合材料 纳米技术 图层（电子）
作者
K. K. Christenson,Jeffery W. Butterbaugh,T. J. Wagener,Nam Pyo Lee,Brent Schwab,Michael Fussy,John Diedrick
出处
期刊：Solid State Phenomena 日期：2007-11-01 卷期号：134: 109-112 被引量：10
标识
DOI：10.4028/www.scientific.net/ssp.134.109
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