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作者
Lars Mönch,John W. Fowler,Scott J. Mason
出处
期刊：Operations research, computer science. Interface series
日期：2013-01-01
被引量：151
标识
DOI：10.1007/978-1-4614-4472-5
摘要
Over the last fifty-plus years, the increased complexity and speed of integrated circuits have radically changed our world. Today, semiconductor manufacturing is perhaps the most important segment of
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