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Nanosecond-laser hyperdoping of intrinsic silicon to modify its electrical and optical properties

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作者
Guoying Dong,Huihuang Yang,S.J. Zeng,Zhenqi Shi,Y.J. Ma,C. Wen,Wenjie Yang
出处
期刊：Optics and Laser Technology [Elsevier]
日期：2023-04-25 卷期号：164: 109517-109517 被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.optlastec.2023.109517
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