Improved topography measurement with a high dynamic range using phase difference sensing technology

光学 干扰(通信) 波长 法布里-珀罗干涉仪 相(物质) 相位差 计量系统 观测误差 材料科学 极限(数学) 准确度和精密度 物理 计算机科学 电信 数学 量子力学 统计 频道(广播) 数学分析 天文
作者
Jinhui Shi,Yuanfei Gong,Dong Guang,Cheng Zuo,Xuqiang Wu,Liang Lü,Guosheng Zhang,Shili Li,Qianqian Wang,Benli Yu
出处
期刊:Optics Letters [Optica Publishing Group]
卷期号:48 (17): 4657-4657 被引量:1
标识
DOI:10.1364/ol.495680
摘要

Phase difference sensing technology (PDST) is employed for topography measurement, and two interference structures are proposed to achieve upper-limit adjustment and high resolution in the measurement range: a dual-wavelength system with a single Fabry–Perot (FP) cavity and a single-wavelength system with dual FP cavities. The phase difference between the two interference signals is determined by an elliptic fitting algorithm (EFA), and this change in phase difference is utilized to characterize the step height. Experimental results indicate that the measurement upper-limit can be adjusted to either 410 µm, 187 µm, or 108 µm by varying the wavelength difference in the dual-wavelength system, which gives a measurement error of 2.96%. In contrast, while offering a measurement resolution of 3.47 nm, the single-wavelength system exhibits a measurement error of 5.38%. The proposed method is capable of satisfying the measurement requirements during micro-electromechanical system (MEMS) processing with proficiency.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
1秒前
背后丹妗发布了新的文献求助10
1秒前
2秒前
2秒前
小凯同学完成签到 ,获得积分10
2秒前
hanleiharry1发布了新的文献求助10
4秒前
4秒前
4秒前
善良冷松发布了新的文献求助10
4秒前
6秒前
在水一方应助一定行采纳,获得10
7秒前
7秒前
7秒前
NexusExplorer应助快乐一江采纳,获得10
8秒前
8秒前
科研通AI5应助Lcccccc采纳,获得10
8秒前
在水一方应助杰2580采纳,获得10
11秒前
幸福大白发布了新的文献求助30
11秒前
Jasmine发布了新的文献求助10
11秒前
12秒前
善良冷松完成签到,获得积分10
12秒前
12秒前
善学以致用应助fengliurencai采纳,获得10
13秒前
个别完成签到,获得积分10
14秒前
14秒前
14秒前
15秒前
sihanzhiyu完成签到,获得积分20
16秒前
16秒前
wdy111应助ASZXDW采纳,获得20
18秒前
18秒前
wsj发布了新的文献求助10
18秒前
旧梦发布了新的文献求助10
18秒前
东晓发布了新的文献求助10
19秒前
科研通AI5应助科研通管家采纳,获得10
19秒前
bkagyin应助科研通管家采纳,获得10
19秒前
共享精神应助科研通管家采纳,获得10
19秒前
852应助科研通管家采纳,获得10
19秒前
NexusExplorer应助科研通管家采纳,获得10
19秒前
酷波er应助科研通管家采纳,获得10
20秒前
高分求助中
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
‘Unruly’ Children: Historical Fieldnotes and Learning Morality in a Taiwan Village (New Departures in Anthropology) 400
Indomethacinのヒトにおける経皮吸収 400
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 370
基于可调谐半导体激光吸收光谱技术泄漏气体检测系统的研究 350
Robot-supported joining of reinforcement textiles with one-sided sewing heads 320
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3989390
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3531487
关于积分的说明 11254109
捐赠科研通 3270153
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1804887
邀请新用户注册赠送积分活动 882087
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 809174