Ultrasonic flexural vibration assisted chemical mechanical polishing for sapphire substrate

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作者
Wenhu Xu,Xinchun Lu,Guoshun Pan,Yuanzhong Lei,Jianbin Luo
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier]
卷期号:256 (12): 3936-3940 被引量:84
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2010.01.053
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