Pulsed DC magnetron sputtered tantalum nitride hard coatings for tribological applications

材料科学 氮化物 氮化钽 溅射 溅射沉积 无定形固体 脉冲直流 薄膜 扩散阻挡层 物理气相沉积 碳化钽 涂层 氮化钛 碳化物 冶金 复合材料 纳米技术 图层(电子) 结晶学 化学
作者
Aditya Aryasomayajula,Krishna Valleti,Subrahmanyam Aryasomayajula,Deepak Bhat
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier]
卷期号:201 (7): 4401-4405 被引量:23
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2006.08.085

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