Investigating the Impact of Hydrogen Bonding on Silicon Nitride (SiNx) Film

氮化硅 材料科学 分析化学(期刊) 氮化物 化学气相沉积 钝化 等离子体增强化学气相沉积 傅里叶变换红外光谱 氢键 纳米技术 氮气 无定形固体 化学键 化学工程 光电子学 结晶学 化学 工程类 有机化学 分子 图层(电子)
作者
Hasnain Yousuf,Alamgeer Khan,Muhammad Quddamah Khokhar,Rafi Ur Rahman,Polgampola Chamani Madara,Jaljalalul Abedin Jony,Muhammad Aleem Zahid,Youngkuk Kim,Junsin Yi
出处
期刊:Energy technology [Wiley]
卷期号:13 (1) 被引量:1
标识
DOI:10.1002/ente.202400761
摘要

The deposition of amorphous hydrogenated silicon nitride (a‐SiN x :H) via plasma‐enhanced chemical vapor deposition is critical for optimizing the performance of crystalline silicon (c‐Si) solar cells. This study investigates the impact of varying gas ratios (GR = NH 3 /SiH 4 ) on the optical and physical properties of deposited SiN x films. Results show that the refractive index (RI) ranges from 1.8 to 2.3 with changing gas compositions. Fourier transform infrared Spectroscopy reveals shifts in [SiNH] and [SiH] stretching modes, indicating changes in hydrogen passivation and nitrogen incorporation. Hydrogen bonding densities of [SiH] and [SiNH] correlate positively with the RI. For example, the hydrogen bonding density [N H ] ranges from 4.53 × 10 23 to 6.32 × 10 23 cm −3 for [SiNH] bonds while [Si‐H] varies from 6.93 × 10 23 to 1.06 × 10 24 cm −3 . Secondary ion mass spectrometry (SIMS) analysis shows stable hydrogen intensity, contrasting with a decrease in nitrogenhydrogen bonds. These findings highlight the key role of hydrogen bonding in determining SiN x film properties, with significant implications for semiconductor and photovoltaic applications.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
蔡从安发布了新的文献求助10
刚刚
burn完成签到,获得积分10
刚刚
muzi完成签到,获得积分10
1秒前
chao完成签到,获得积分10
2秒前
day_on发布了新的文献求助10
3秒前
一一完成签到,获得积分10
4秒前
orixero应助Champ采纳,获得10
4秒前
一点完成签到 ,获得积分0
4秒前
ZYN完成签到 ,获得积分10
6秒前
搜集达人应助永远的阿科采纳,获得20
7秒前
SYLH应助蔡从安采纳,获得10
7秒前
9秒前
照镜子丫dorime完成签到,获得积分10
11秒前
奉雨眠完成签到,获得积分10
11秒前
埋头苦干科研完成签到,获得积分10
12秒前
闫栋完成签到 ,获得积分10
12秒前
稳重的秋天完成签到,获得积分20
14秒前
14秒前
坐雨赏花完成签到 ,获得积分10
14秒前
文献狗完成签到,获得积分10
14秒前
DMMM完成签到,获得积分10
15秒前
day_on完成签到,获得积分10
15秒前
车非笑完成签到,获得积分10
15秒前
16秒前
玛卡巴卡发布了新的文献求助10
16秒前
王二哈完成签到,获得积分10
17秒前
芝麻福福完成签到,获得积分10
17秒前
曼夭非夭完成签到,获得积分10
18秒前
wang完成签到,获得积分10
19秒前
xue完成签到 ,获得积分10
19秒前
zhang完成签到,获得积分10
20秒前
20秒前
小啊刘呀发布了新的文献求助10
21秒前
俍璟完成签到 ,获得积分10
21秒前
cistronic完成签到,获得积分10
21秒前
薄荷草莓糖完成签到,获得积分10
22秒前
HCN完成签到,获得积分10
22秒前
兴奋的万声完成签到,获得积分10
22秒前
自由如天完成签到,获得积分10
23秒前
少女徐必成完成签到 ,获得积分10
24秒前
高分求助中
The Mother of All Tableaux Order, Equivalence, and Geometry in the Large-scale Structure of Optimality Theory 2400
Ophthalmic Equipment Market by Devices(surgical: vitreorentinal,IOLs,OVDs,contact lens,RGP lens,backflush,diagnostic&monitoring:OCT,actorefractor,keratometer,tonometer,ophthalmoscpe,OVD), End User,Buying Criteria-Global Forecast to2029 2000
Optimal Transport: A Comprehensive Introduction to Modeling, Analysis, Simulation, Applications 800
Official Methods of Analysis of AOAC INTERNATIONAL 600
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 588
Residual Stress Measurement by X-Ray Diffraction, 2003 Edition HS-784/2003 588
T/CIET 1202-2025 可吸收再生氧化纤维素止血材料 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3950021
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3495348
关于积分的说明 11076451
捐赠科研通 3225877
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1783346
邀请新用户注册赠送积分活动 867596
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 800839