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Novel Dual Work Function Buried Channel Array Transistor Process Design for Sub-17 nm DRAM

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作者
Dong‐Sik Park,D.H. Im,Hee‐Tak Kim,Jangwook Lee,Byung‐Jae Kang,Jihoon Seo,T. John Koo,Byoungdeog Choi
出处
期刊：IEEE Access [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-01-01 卷期号：: 1-1
链接
ieee.org ieee.orgdoi.org
标识
DOI：10.1109/access.2024.3371508
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