Effect of HF and NaOH Etching on Chemical and Structure Stability of Hollow SiOC Ceramics

材料科学 陶瓷 蚀刻(微加工) 热解 碳热反应 化学工程 各向同性腐蚀 复合材料 热重分析 氧气 图层(电子) 有机化学 碳化物 工程类 化学
作者
Kedong Xia,Hui Zhang,Yinfeng Cheng,Lingyao Duan,Yunling Li,Xiao Liu
出处
期刊:Silicon [Springer Nature]
卷期号:16 (5): 2171-2181 被引量:1
标识
DOI:10.1007/s12633-023-02828-2
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