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Fabrication of the microfluidic channels in silicon wafers using isotropic wet etching method: the impact of the composition of HNA solution on etching

蚀刻（微加工） 薄脆饼 制作 硅 材料科学 干法蚀刻 各向同性 纳米技术 微流控 各向同性腐蚀 反应离子刻蚀 作文（语言） 光电子学 光学 图层（电子） 物理 医学 语言学 哲学 替代医学 病理
作者
Pradeep Dewangan,S. Purohit,Vishal Sahu,Robbi Vivek Vardhan,Mahesh Peddigari,Prem Pal
出处
期刊：Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems [Springer Nature]
日期：2024-05-16
标识
DOI：10.1007/s00542-024-05688-x
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