发布文献求助

In2O3 film prepared by a PEALD process with balanced oxygen radical supply and ion bombardment damage

氧化剂 等离子体 氧气 离子 分析化学（期刊） 材料科学 薄膜 脉冲持续时间 增长率 饱和（图论） 化学 纳米技术 激光器 光学 物理 组合数学 量子力学 有机化学 色谱法 数学 几何学
作者
Ming-Jie Zhao,Zhi-Xuan Zhang,Chia‐Hsun Hsu,Wan-Yu Wu,Xiaoying Zhang,Shui‐Yang Lien,Wen‐Zhang Zhu
出处
期刊：Vacuum [Elsevier]
日期：2021-06-27 卷期号：192: 110411-110411 被引量：11
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2021.110411
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
雪花完成签到 ，获得积分10
2秒前
眯眯眼的黎昕完成签到 ，获得积分10
4秒前
小青年儿完成签到 ，获得积分10
16秒前
在水一方的应助被琅千袭采纳，获得10
17秒前
18秒前
InaZheng发布了新的文献求助30
23秒前
28秒前
琅千袭完成签到，获得积分10
28秒前
琅千袭发布了新的文献求助10
33秒前
mito完成签到，获得积分10
34秒前
快乐的幼丝完成签到 ，获得积分10
37秒前
香蕉秋寒完成签到 ，获得积分10
37秒前
阿轩完成签到，获得积分10
45秒前
文静灵阳完成签到 ，获得积分10
1分钟前
研友_Z7XY28完成签到 ，获得积分10
1分钟前
小马甲的应助被小米粒采纳，获得10
1分钟前
1分钟前
明帅发布了新的文献求助10
1分钟前
1分钟前
小米粒发布了新的文献求助10
1分钟前
emxzemxz完成签到 ，获得积分10
1分钟前
皮皮完成签到 ，获得积分10
1分钟前
guoxihan完成签到，获得积分10
2分钟前
2分钟前
豆腐青菜雨完成签到 ，获得积分10
2分钟前
明帅发布了新的文献求助10
2分钟前
又又完成签到，获得积分10
2分钟前
笨笨忘幽完成签到，获得积分10
2分钟前
小乙猪完成签到 ，获得积分0
2分钟前
三个气的大门完成签到 ，获得积分10
2分钟前
zone完成签到，获得积分10
2分钟前
344061512完成签到 ，获得积分10
2分钟前
安然完成签到 ，获得积分10
2分钟前
背后寻真完成签到 ，获得积分10
2分钟前
小白菜完成签到 ，获得积分10
2分钟前
李健的小迷弟的应助被InaZheng采纳，获得10
2分钟前
CodeCraft的应助被科研通管家采纳，获得10
2分钟前
萧水白的应助被科研通管家采纳，获得10
2分钟前
2分钟前
InaZheng发布了新的文献求助10
2分钟前
高分求助中
Production Logging: Theoretical and Interpretive Elements 2000
Very-high-order BVD Schemes Using β-variable THINC Method 1200
Mantiden: Faszinierende Lauerjäger Faszinierende Lauerjäger 1000
PraxisRatgeber: Mantiden: Faszinierende Lauerjäger 1000
中国荞麦品种志 1000
BIOLOGY OF NON-CHORDATES 1000
Autoregulatory progressive resistance exercise: linear versus a velocity-based flexible model 550
热门求助领域 （近24小时）
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 物理化学 催化作用 细胞生物学 免疫学 冶金
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 3360079
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 2982657
关于积分的说明 8704643
捐赠科研通 2664447
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1459070
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 675399
邀请新用户注册赠送积分活动 666431
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通