A Mems Vibrating Beam Accelerometer for High Resolution Seismometry and Gravimetry

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作者
Guillermo Sobreviela-Falces,Milind Pandit,Arif Mustafazade,Chun Zhao,Callisto Pili,Colin Baker,Ashwin A. Seshia
标识
DOI:10.1109/mems51782.2021.9375431
摘要

A differential MEMS vibrating beam accelerometer (VBA) demonstrating excellent stability for seismology and gravimetry applications is presented. The accelerometer response demonstrates excellent linearity over an acceleration range of ±1 g (1 g = 9.8 m s -2 ) with a scale factor of 9825 Hz/g. An approximately flat output Allan deviation with an average value of 15 ng is recorded over integration times τ = 1 s - 1000 s with a best-case bias instability of <; 10 ng and a noise floor of 10 ng/√H. These results, taken collectively, set new benchmarks for vibrating beam MEMS accelerometers.
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