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Sputtering of tungsten, tungsten oxide, and tungsten-carbon mixed layers by deuterium ions in the threshold energy region

溅射 钨 材料科学 氘 离子 原子物理学 解吸 辐照 表层 分析化学（期刊） 图层（电子） 纳米技术 薄膜 化学 冶金 核物理学 吸附 物理 物理化学 有机化学 色谱法
作者
M. I. Gusev,S. N. Korshunov,А. Л. Суворов,N. E. Lazarev
出处
期刊：Technical Physics [Springer Nature]
日期：1999-09-01 卷期号：44 (9): 1123-1127 被引量：13
标识
DOI：10.1134/1.1259485
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