Influence of coating parameters on the structure and properties of Al2O3 layers reactively deposited by means of pulsed magnetron sputtering

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作者
O. Zywitzki,G. Hoetzsch
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier]
卷期号:86-87: 640-647 被引量:76
标识
DOI:10.1016/s0257-8972(96)02992-1

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