C4F6 1,3 Hexafluorobutadiene - A New Etching Gas: Studies on Material Compatibility, Behavior in Inductively Coupled Plasma and Etch Processes Performance

相容性(地球化学) 感应耦合等离子体 材料科学 环境科学 等离子体 化学 环境化学 纳米技术 分析化学(期刊) 工艺工程 复合材料 工程类 物理 量子力学
作者
Ariel Nicoletti,P. Srinivasan,M Riva,Eric C. Benck,A. N. Goyette,Yicheng Wang,J M. Kim,Po‐Wen Hsieh,Amulya Athayde,Abhay Joshi
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