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高功率脉冲磁控溅射 材料科学 氮化物 冶金 钛 溅射沉积 氮气 氮化钛 腐蚀 粒度 溅射 复合材料 薄膜 纳米技术 化学 图层（电子） 有机化学
作者
Anas Ghailane,Abegunde Olayinka Oluwatosin,Hicham Larhlimi,Chaymae Hejjaj,M. Makha,Heinz Busch,Christian B. Fischer,Jones Alami
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier]
日期：2021-10-21 卷期号：574: 151635-151635 被引量：44
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2021.151635
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