Large area smoothing of optical surfaces by low-energy ion beams

离子束 材料科学 曲面(拓扑) 原子物理学 能量(信号处理) 光学 梁(结构) 溅射 物理
作者
Frank Frost,Renate Fechner,B. Ziberi,Dieter Flamm,A. Schindler
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier BV]
卷期号:459 (1): 100-105 被引量:61
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2003.12.107
摘要

Abstract This contribution focuses on ion beam-assisted processes targeted at the preparation of ultra-smooth surfaces with root mean square (rms) roughness values Rq 0.1 μm−1). These smoothing techniques were discussed for common optical substrate materials like silicon, quartz glass and a special glass ceramic. By optimization and combination of these different techniques a sub-nanometer scale roughness reduction down to 0.1 nm was demonstrated. Due to the application of broad beam ion sources the results are also applicable to large-scale optical components.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
爱笑晓曼发布了新的文献求助20
2秒前
老大蒂亚戈应助YJ888采纳,获得10
3秒前
JamesPei应助潇湘雪月采纳,获得10
3秒前
bbczj发布了新的文献求助10
5秒前
6秒前
7秒前
南风知我意完成签到,获得积分20
8秒前
段一帆发布了新的文献求助30
10秒前
wangqinlei完成签到 ,获得积分10
10秒前
fenghp发布了新的文献求助10
11秒前
王馨雨发布了新的文献求助10
11秒前
13秒前
CipherSage应助ccalvintan采纳,获得10
14秒前
14秒前
雪天的阳完成签到 ,获得积分10
16秒前
17秒前
18秒前
18秒前
烟花应助ren采纳,获得10
19秒前
讨厌科研发布了新的文献求助10
19秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
20秒前
苏卿应助科研通管家采纳,获得30
21秒前
fd163c应助科研通管家采纳,获得10
22秒前
香蕉觅云应助科研通管家采纳,获得10
22秒前
思源应助科研通管家采纳,获得10
22秒前
SYLH应助科研通管家采纳,获得10
22秒前
22秒前
CAOHOU应助科研通管家采纳,获得10
22秒前
爆米花应助科研通管家采纳,获得10
22秒前
SYLH应助科研通管家采纳,获得30
22秒前
小蘑菇应助科研通管家采纳,获得10
22秒前
22秒前
殷勤的紫槐完成签到,获得积分10
22秒前
风轻青柠发布了新的文献求助10
23秒前
23秒前
机智冬灵完成签到,获得积分10
24秒前
25秒前
为小嗳打伞完成签到 ,获得积分10
27秒前
小木安华发布了新的文献求助10
27秒前
体贴的之卉完成签到,获得积分20
29秒前
高分求助中
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
‘Unruly’ Children: Historical Fieldnotes and Learning Morality in a Taiwan Village (New Departures in Anthropology) 400
Indomethacinのヒトにおける経皮吸収 400
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 370
基于可调谐半导体激光吸收光谱技术泄漏气体检测系统的研究 350
Robot-supported joining of reinforcement textiles with one-sided sewing heads 320
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3989390
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3531487
关于积分的说明 11254109
捐赠科研通 3270153
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1804887
邀请新用户注册赠送积分活动 882087
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 809174