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Effect of Plasma Modulation on Si Chemical DryEtching in F$_2$ Remote Plasmas

等离子体调制（音乐）材料科学原子物理学物理核物理学声学

作者

Yeon-Sook Yun,S.M. Park,N.-E. Lee

出处

期刊：Journal of the Korean Physical Society [Springer Science+Business Media]
日期：2008-11-15 卷期号：53 (9(5)): 2386-2390 被引量：8

标识

DOI：10.3938/jkps.53.2386

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