Effect of Plasma Modulation on Si Chemical DryEtching in F$_2$ Remote Plasmas

等离子体 调制(音乐) 材料科学 原子物理学 物理 核物理学 声学
作者
Yeon-Sook Yun,S.M. Park,nbsp Min-Hwan Lee
出处
期刊:Journal of the Korean Physical Society [Springer Nature]
卷期号:53 (9(5)): 2386-2390 被引量:8
标识
DOI:10.3938/jkps.53.2386

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