Effect of Plasma Modulation on Si Chemical DryEtching in F$_2$ Remote Plasmas

等离子体 调制(音乐) 材料科学 原子物理学 物理 核物理学 声学
作者
Yeon-Sook Yun,S.M. Park,nbsp Min-Hwan Lee
出处
期刊:Journal of the Korean Physical Society [Springer Science+Business Media]
卷期号:53 (9(5)): 2386-2390 被引量:8
标识
DOI:10.3938/jkps.53.2386

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
1秒前
明明完成签到,获得积分20
1秒前
wonwojo发布了新的文献求助10
1秒前
明德zhuang发布了新的文献求助30
2秒前
徐逊发布了新的文献求助10
2秒前
八段锦完成签到 ,获得积分10
4秒前
竹前家庆发布了新的文献求助30
5秒前
6秒前
7秒前
ShellyHan发布了新的文献求助10
7秒前
7秒前
coco发布了新的文献求助30
8秒前
8秒前
Ava应助academician采纳,获得10
9秒前
科研通AI5应助jjj采纳,获得10
10秒前
网易发布了新的文献求助10
11秒前
insane发布了新的文献求助10
12秒前
13秒前
13秒前
ren完成签到 ,获得积分10
14秒前
慕南枝发布了新的文献求助10
14秒前
小蘑菇应助我叫王子禹采纳,获得10
15秒前
xxxhl完成签到,获得积分10
15秒前
胡杨树2006完成签到,获得积分10
16秒前
16秒前
复杂羊青完成签到 ,获得积分10
17秒前
脑洞疼应助时尚丹寒采纳,获得10
17秒前
英姑应助keyanzhazha采纳,获得50
17秒前
17秒前
鱼鱼鱼完成签到,获得积分10
19秒前
科研通AI5应助阳阳采纳,获得10
20秒前
天才完成签到,获得积分10
20秒前
852发布了新的文献求助10
20秒前
22秒前
23秒前
insane完成签到,获得积分10
23秒前
sa发布了新的文献求助10
25秒前
Akim应助中央戏精学院采纳,获得10
26秒前
CodeCraft应助自由十三采纳,获得50
27秒前
神外王001完成签到 ,获得积分10
27秒前
高分求助中
All the Birds of the World 4000
Production Logging: Theoretical and Interpretive Elements 3000
Animal Physiology 2000
Les Mantodea de Guyane Insecta, Polyneoptera 2000
Am Rande der Geschichte : mein Leben in China / Ruth Weiss 1500
CENTRAL BOOKS: A BRIEF HISTORY 1939 TO 1999 by Dave Cope 1000
Machine Learning Methods in Geoscience 1000
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 物理 生物化学 纳米技术 计算机科学 化学工程 内科学 复合材料 物理化学 电极 遗传学 量子力学 基因 冶金 催化作用
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3740956
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3283797
关于积分的说明 10036810
捐赠科研通 3000526
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1646584
邀请新用户注册赠送积分活动 783787
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 750427