Investigation of high performance Edge Lifted Capacitors reliability for GaAs and GaN MMIC technology

电容器 材料科学 单片微波集成电路 光电子学 电介质 薄脆饼 介电强度 电容 微波食品加热 随时间变化的栅氧化层击穿 击穿电压 泄漏(经济) 电子工程 可靠性(半导体) GSM演进的增强数据速率 栅极电介质 电气工程 电压 晶体管 CMOS芯片 工程类 化学 电极 功率(物理) 经济 物理化学 宏观经济学 量子力学 电信 放大器 物理
作者
Ming‐Hung Weng,Christopher Chen,Che-Kai Lin,Shih-Hui Huang,Jhih-Han Du,Sheng-Wen Peng,W. Wohlmuth,Frank Chou,Chang-Hwang Hua
出处
期刊:Microelectronics Reliability [Elsevier]
卷期号:54 (12): 2697-2703
标识
DOI:10.1016/j.microrel.2014.09.023

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