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Experimental Thermal Characterization of Thin Film low-k Dielectric Materials

材料科学电介质表征（材料科学）薄膜热的复合材料光电子学纳米技术物理热力学

作者

Herman Oprins,Vladimir Cherman,Bjorn Vermeersch,Federica Luciano,Xinyue Chang,Valeria Founta,Youqi Ding,Christoph Adelmann,Zsolt Tőkei

标识

DOI：10.1109/itherm55375.2024.10709545

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