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Understanding the mechanism of plasma etching of carbon-doped GeSbTe phase change material

材料科学兴奋剂蚀刻（微加工）等离子体等离子体刻蚀碳纤维机制（生物学）纳米技术相变相（物质）光电子学工程物理化学复合材料物理图层（电子）复合数量子力学有机化学

作者

Jin Liu,Jiarui Zhang,Ziqi Wan,Yuqing Chen,Jia Zheng,Xixi Zou,Sannian Song,Shan Qiao,Ruobing Wang,Zhitang Song,Xilin Zhou

出处

期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2024-07-14 卷期号：671: 160696-160696

标识

DOI：10.1016/j.apsusc.2024.160696

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