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Understanding the mechanism of plasma etching of carbon-doped GeSbTe phase change material

材料科学 兴奋剂 蚀刻（微加工） 等离子体 等离子体刻蚀 碳纤维 机制（生物学） 纳米技术 相变 相（物质） 光电子学 工程物理 化学 复合材料 物理 图层（电子） 复合数 有机化学 量子力学
作者
Jin Liu,Jiarui Zhang,Ziqi Wan,Yuqing Chen,Jia Zheng,Xixi Zou,Sannian Song,Shan Qiao,Ruobing Wang,Zhitang Song,Xilin Zhou
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2024-07-14 卷期号：671: 160696-160696
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2024.160696
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