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Experimental Study of Key Factors on Super Smooth Surface Fabrication Upon Single Crystal Silicon Based on Mechanochemical Synergy
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作者
Xiao Shen,
Xiaoyu Weng,
Yancheng Li,
Ye Tian,
Xing Peng,
Ying Xiong,
Shuo Qiao,
Feng Shi
出处
期刊：
Tribology International
[Elsevier]
日期：2024-09-03
卷期号：201: 110199-110199
标识
DOI：10.1016/j.triboint.2024.110199
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