Fast and Accurate EUVL Thick-Mask Model Based on Multi Channel Attention Network

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作者
Chengzhen Yu,Sheng Liu,Wensheng Chen,Xu Ma
出处
期刊:IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:: 1-1
标识
DOI:10.1109/tsm.2025.3539300

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