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Leakage Mechanism and Cycling Behavior of Ferroelectric Al0.7Sc0.3N

材料科学 铁电性 泄漏（经济） 光电子学 氮化物 纳米技术 电介质 图层（电子） 经济 宏观经济学
作者
Li Chen,Qiang Wang,Chen Liu,Minghua Li,Wen‐Dong Song,Weijie Wang,Desmond K. Loke,Yao Zhu
出处
期刊：Materials [MDPI AG]
日期：2024-01-12 卷期号：17 (2): 397-397 被引量：3
链接
mdpi.com mdpi.com nih.gov nih.govdoi.org
标识
DOI：10.3390/ma17020397
摘要
Ferroelectric scandium-doped aluminum nitride (Al
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