Thermodynamic Study of (Hexafluoroacetylacetonato)(cyclooctadiene-1,5)copper As the Technological Basis for the Development of Chemical Vapor Deposition of Metal-Containing Film Heterostructures

金属 化学气相沉积 材料科学 沉积(地质) 化学工程 冶金 化学 纳米技术 地质学 工程类 古生物学 沉积物
作者
Kseniya V. Zherikova,Sergey V. Trubin,Denis P. Pishchur,N. B. Morozova
出处
期刊:Russian Journal of Physical Chemistry A [Springer Nature]
标识
DOI:10.1134/s0036024424010321

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