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Enhancement of heat dissipation in β-Ga2O3 Schottky diodes through Cu-filled thermal vias: experimental and simulation investigations

材料科学 肖特基二极管 电子设备和系统的热管理 二极管 光电子学 热的 电镀 消散 功率密度 紫外线 激光器 肖特基势垒 功率（物理） 复合材料 光学 热力学 图层（电子） 机械工程 物理 工程类
作者
Younghyun You,Hui Won Eom,Jehwan Park,Myung Jun Kim,Jihyun Kim
出处
期刊：Journal of Materials Chemistry C [Royal Society of Chemistry]
日期：2024-01-01 卷期号：12 (29): 11094-11102
标识
DOI：10.1039/d4tc01811g
摘要
Cu-filled thermal through-vias were formed in β-Ga 2 O 3 Schottky diodes using ultraviolet laser drilling and Cu electroplating, where the temperature increase was suppressed by approximately 21% at the power density of 5.7 W mm −3 .
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