Advances in III-V based dual-band MWIR/LWIR FPAs at HRL

光电子学 碲化镉汞 材料科学 响应度 可操作性 暗电流 探测器 超晶格 点间距 可制造性设计 薄脆饼 光电探测器 物理 光学 计算机科学 电气工程 像素 软件工程 工程类
作者
Pierre-Yves Delaunay,B. Z. Nosho,Alexander R. Gurga,Sevag Terterian,R. Rajavel
出处
期刊:Proceedings of SPIE 被引量:26
标识
DOI:10.1117/12.2266278
摘要

Recent advances in superlattice-based infrared detectors have rendered this material system a solid alternative to HgCdTe for dual-band sensing applications. In particular, superlattices are attractive from a manufacturing perspective as the epitaxial wafers can be grown with a high degree of lateral uniformity, low macroscopic defect densities (< 50 cm-2) and achieve dark current levels comparable to HgCdTe detectors. In this paper, we will describe our recent effort on the VISTA program towards producing HD-format (1280x720, 12 μm pitch) superlattice based, dual-band MWIR/LWIR FPAs. We will report results from several multi-wafer fabrication lots of 1280x720, 12 μm pitch FPAs processed over the last two years. To assess the FPA performance, noise equivalent temperature difference (NETD) measurements were conducted at 80K, f/4.21 and using a blackbody range of 22°C to 32°C. For the MWIR band, the NETD was 27.44 mK with a 3x median NETD operability of 99.40%. For the LWIR band, the median NETD was 27.62 mK with a 3x median operability of 99.09%. Over the course of the VISTA program, HRL fabricated over 30 FPAs with similar NETDs and operabilities in excess of 99% for both bands, demonstrating the manufacturability and high uniformity of III-V superlattices. We will also present additional characterization results including blinkers, spatial stability, modulation transfer function and thermal cycles reliability.

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