Study on thickness uniformity of Ta2O5 film evaporated on the inner-face of a hemispherical substrate

材料科学 基质(水族馆) 半径 光学 GSM演进的增强数据速率 蒸发 顶点(图论) 复合材料 物理 数学 地质学 电信 图形 海洋学 计算机安全 离散数学 计算机科学 热力学
作者
Lingmao Xu,Yanchun He,Kun Li,Hui Zhou,Yuqing Xiong
出处
期刊:Optoelectronics Letters [Springer Nature]
卷期号:17 (11): 673-677
标识
DOI:10.1007/s11801-021-1040-3
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