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Fabrication of ordered submicrometer-scale convex lens array via nanoimprint lithography using an anodized aluminum mold

材料科学 纳米压印光刻 阳极氧化 酒窝 制作 模具 平版印刷术 复合材料 聚合物 纳米技术 铝 光电子学 医学 病理 替代医学
作者
Kai Kawahara,Tatsuya Kikuchi,Shungo Natsui,Ryosuke O. Suzuki
出处
期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier]
日期：2017-11-06 卷期号：185-186: 61-68 被引量：26
标识
DOI：10.1016/j.mee.2017.10.016
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