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Multi-component AlCrTaTiZrMo-nitride film with high diffusion resistance in copper metallization

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作者

Rongbin Li,Bangwei Qiao,Hailong Shang,Jing Zhang,Chunxia Jiang,Weiwei Zhang

出处

期刊：Journal of Alloys and Compounds [Elsevier]
日期：2018-03-09 卷期号：748: 258-264 被引量：30

标识

DOI：10.1016/j.jallcom.2018.03.084

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