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Investigation of ultrathin yttrium silicide for NMOS source/drain contacts

材料科学 硅化物 透射电子显微镜 钇 锡 接触电阻 NMOS逻辑 分析化学（期刊） 二次离子质谱法 硅 图层（电子） 纳米技术 冶金 离子 氧化物 晶体管 化学 电气工程 工程类 有机化学 色谱法 电压
作者
Xianglie Sun,Jing Xu,Jianfeng Gao,Jinbiao Liu,Yan‐Ping He,Xu Chen,Mengjuan Kong,Yongliang Li,Junfeng Li,Wenwu Wang,Tianchun Ye,Jun Luo
出处
期刊：Journal of Materials Science: Materials in Electronics [Springer Science+Business Media]
日期：2023-05-01 卷期号：34 (15) 被引量：1
标识
DOI：10.1007/s10854-023-10660-y
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