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Investigation of amorphous-SiC thin film deposition by RF magnetron sputtering for optical applications

材料科学 溅射沉积 无定形固体 光电子学 薄膜 沉积（地质） 溅射 腔磁控管 高功率脉冲磁控溅射 纳米技术 工程物理 结晶学 生物 古生物学 化学 沉积物 工程类
作者
Didier Chaussende,Vincent Tabouret,Alexandre Crisci,Magali Morais,S. Coindeau,G. Berthomé,Manuel Kollmuß,Peter J. Wellmann,François Jomard,Marie‐Amandine Pinault‐Thaury,Yaoqin Lu,Xiaodong Shi,Haiyan Ou
出处
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier]
日期：2024-07-13 卷期号：182: 108673-108673
链接
hal.sciencedoi.org
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2024.108673
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