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Temperature-dependent bias-stress-induced electrical instability of amorphous indium-gallium-zinc-oxide thin-film transistors

材料科学 阈值电压 薄膜晶体管 阿累尼乌斯方程 无定形固体 活化能 压力(语言学) 晶体管 光电子学 阿伦尼乌斯图 电压 纳米技术 电气工程 图层(电子) 化学 冶金 结晶学 语言学 哲学 有机化学 工程类
作者
Qian Huimin,Guang Yu,Hai Lu,Chenfei Wu,Lan-Feng Tang,Dong Zhou,Fangfang Ren,Rong Zhang,You-Liao Zheng,Xiaoming Huang
出处
期刊:Chinese Physics B [IOP Publishing]
卷期号:24 (7): 077307-077307 被引量:5
标识
DOI:10.1088/1674-1056/24/7/077307
摘要

The time and temperature dependence of threshold voltage shift under positive-bias stress (PBS) and the following recovery process are investigated in amorphous indium-gallium-zinc-oxide (a-IGZO) thin-film transistors. It is found that the time dependence of threshold voltage shift can be well described by a stretched exponential equation in which the time constant τ is found to be temperature dependent. Based on Arrhenius plots, an average effective energy barrier Eτstress = 0.72 eV for the PBS process and an average effective energy barrier Eτrecovery = 0.58 eV for the recovery process are extracted respectively. A charge trapping/detrapping model is used to explain the threshold voltage shift in both the PBS and the recovery process. The influence of gate bias stress on transistor performance is one of the most critical issues for practical device development.
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