Improved crystalline quality of Al-rich n-AlGaN by regrowth on nanoporous template fabricated by electrochemical etching

纳米孔 材料科学 阳极氧化 纳米孔 光致发光 蚀刻(微加工) 光电子学 紫外线 多孔性 拉曼光谱 纳米技术 复合材料 图层(电子) 光学 物理
作者
Liang Zhang,Jianchang Yan,Qin Wu,Yanan Guo,Chao Yang,Tianyu Wei,Zhiqiang Liu,Guodong Yuan,Wei Xiang,Lixia Zhao,Yun Zhang,Jinmin Li,Junxi Wang
出处
期刊:Journal of Nanophotonics [SPIE - International Society for Optical Engineering]
卷期号:12 (04): 1-1 被引量:6
标识
DOI:10.1117/1.jnp.12.043509
摘要

We report the regrown Al-rich of n-AlGaN material with improved crystalline quality and reduced stress on nanoporous AlGaN template, which was prepared by the electrochemical etching (EC). First, the EC of Al-rich AlxGa1-xN (x > 50 % ) material was investigated to get suitable nanoporous template. Various anodizing voltage and anodizing time were applied to fabricate the nanoporous AlGaN template. The nanopore size and density were found to increase as the anodizing voltage and the anodizing time increase. Moreover, branching pores and vertical pores were apt to be formed at low and high voltages, respectively. Photoluminescence (PL) measurement and Raman spectra indicate that the nanoporous AlGaN materials exhibit higher PL intensity and dramatical release of stress compared to the as-grown AlGaN films due to the presence of nanopores. Furthermore, the nearly stress-free regrown n-AlGaN with high quality using optimized nanoporous AlGaN material as the template was also obtained, which demonstrates that the nanoporous AlGaN template could potentially be applied to heteroepitaxy of efficient AlGaN-based ultraviolet optoelectronic.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
刚刚
神奇大药丸完成签到,获得积分10
3秒前
哎嘤斯坦发布了新的文献求助10
4秒前
bkagyin应助cz采纳,获得10
4秒前
清脆语海完成签到,获得积分10
5秒前
BOSS徐发布了新的文献求助10
5秒前
liugm完成签到,获得积分10
6秒前
星夜吹笛牛上完成签到,获得积分10
7秒前
脑洞疼应助Serein采纳,获得10
8秒前
GG完成签到 ,获得积分10
8秒前
aimee完成签到,获得积分10
9秒前
12秒前
程未央_12完成签到,获得积分10
12秒前
所所应助无聊先知采纳,获得10
13秒前
礼物盒完成签到,获得积分10
13秒前
爱吃麻辣烫应助哎嘤斯坦采纳,获得10
13秒前
田様应助csuxxm采纳,获得10
13秒前
14秒前
遇more完成签到 ,获得积分10
15秒前
xerrr完成签到,获得积分20
16秒前
语物发布了新的文献求助10
17秒前
17秒前
王小磊完成签到,获得积分10
17秒前
17秒前
李麟发布了新的文献求助10
19秒前
19秒前
19秒前
明理青丝完成签到,获得积分10
19秒前
烟花应助刀杨同学采纳,获得30
20秒前
liu完成签到,获得积分10
20秒前
21秒前
21秒前
彭于晏应助大耳朵涂涂采纳,获得10
21秒前
微神阳发布了新的文献求助10
22秒前
弹指一挥间完成签到,获得积分10
22秒前
礼物盒发布了新的文献求助10
22秒前
水三寿发布了新的文献求助10
22秒前
何小熊发布了新的文献求助10
23秒前
23秒前
23秒前
高分求助中
Evolution 10000
Sustainability in Tides Chemistry 2800
юрские динозавры восточного забайкалья 800
Diagnostic immunohistochemistry : theranostic and genomic applications 6th Edition 500
Chen Hansheng: China’s Last Romantic Revolutionary 500
China's Relations With Japan 1945-83: The Role of Liao Chengzhi 400
Classics in Total Synthesis IV 400
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3150106
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 2801196
关于积分的说明 7843534
捐赠科研通 2458660
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1308585
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 628556
版权声明 601721