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Optimization of MIS type Non-Volatile Memory Device with Al-Doped HfO2 as Charge Trapping Layer
作者
Geonju Yoon,
Taeyong Kim,
Khushabu Agrawal,
Jaemin Kim,
Jinsu Park,
Hyun-Hoo Kim,
Eun-Chel Cho,
Junsin Yi
出处
期刊：
ECS Journal of Solid State Science and Technology
[Institute of Physics]
日期：2020-08-24
卷期号：9 (7): 075004-
被引量：4
标识
DOI：10.1149/2162-8777/abaf10
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