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浸没式光刻材料科学平版印刷术沉浸式（数学）极紫外光刻光学光电子学抵抗纳米技术物理数学纯数学图层（电子）

作者

Qiongyan Yuan,Xiangzhao Wang,Zicheng Qiu

出处

期刊：Optik [Elsevier BV]
日期：2008-04-17 卷期号：120 (7): 325-329 被引量：4

标识

DOI：10.1016/j.ijleo.2007.09.009

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