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Chemical Vapor Deposition

化学气相沉积 材料科学 沉积（地质） 化学工程 燃烧化学气相沉积 纳米技术 地质学 工程类 薄膜 碳膜 地貌学 沉积物
作者
Zhong Lin Wang,Yi Liu,Ze Zhang
出处
期刊：Springer eBooks [Springer Nature]
日期：2003-01-01 卷期号：: 102-144 被引量：2
标识
DOI：10.1007/0-387-23814-x_5
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